ASTM F390-2011用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
发布时间： 2023-08-24 12:37:51 点击： 474
ASTM F390-2011用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻的标准试验方法
ASTM F390-2011是一个标准的试验方法，用于使用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻。以下是该方法的基本概述：
准备设备：需要准备共线四探针测量设备、金属薄膜样品、夹具、电源、信号发生器、测量仪表等。
样品制备：制备金属薄膜样品，确保其表面平整、无瑕疵，并满足试验要求。
探针的放置：将共线四探针按要求放置在金属薄膜样品的表面上，确保探针间距准确且相互平行。
电源连接：将电源连接到共线四探针测量设备的输入端，并将信号发生器连接到输出端。
测试信号的施加：通过共线四探针测量设备向金属薄膜样品施加测试信号，例如直流电压或交流电压。
电阻测量：通过测量仪表读取探针间的电压降，并根据探针间距计算出金属薄膜的薄膜电阻。
数据记录和处理：记录试验过程中的数据，例如测试信号的波形、探针间的电压降、计算的薄膜电阻等。
重复试验：为了获得更准确的结果，可以重复进行试验，并取平均值。
需要注意的是，该方法的具体步骤和要求可以在ASTM F390-2011标准中详细查阅。
共线四探针法是一种用于测量薄膜电阻的测试方法。该方法的基本原理是，在薄膜表面上使用四个探针按一定间距排列，施加测试信号，并通过测量探针间的电压降来计算薄膜电阻。共线四探针法主要应用于半导体行业，用于测量半导体薄膜的电阻率。
ASTM F390-2011是一个标准的试验方法，用于使用共线四探针法测定金属薄膜的薄膜电阻。以下是该方法的基本概述：
准备设备：需要准备共线四探针测量设备、金属薄膜样品、夹具、电源、信号发生器、测量仪表等。
样品制备：制备金属薄膜样品，确保其表面平整、无瑕疵，并满足试验要求。
探针的放置：将共线四探针按要求放置在金属薄膜样品的表面上，确保探针间距准确且相互平行。
电源连接：将电源连接到共线四探针测量设备的输入端，并将信号发生器连接到输出端。
测试信号的施加：通过共线四探针测量设备向金属薄膜样品施加测试信号，例如直流电压或交流电压。
电阻测量：通过测量仪表读取探针间的电压降，并根据探针间距计算出金属薄膜的薄膜电阻。
数据记录和处理：记录试验过程中的数据，例如测试信号的波形、探针间的电压降、计算的薄膜电阻等。
重复试验：为了获得更准确的结果，可以重复进行试验，并取平均值。
需要注意的是，该方法的具体步骤和要求可以在ASTM F390-2011标准中详细查阅。
共线四探针法是一种用于测量薄膜电阻的测试方法。该方法的基本原理是，在薄膜表面上使用四个探针按一定间距排列，施加测试信号，并通过测量探针间的电压降来计算薄膜电阻。共线四探针法主要应用于半导体行业，用于测量半导体薄膜的电阻率。
